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Advanced Energy的射頻電源產品一直領先同業,而且產品不斷推陳出新,以滿足半導體業及工業產品廠商的嚴格要求

2025China.cn   2021年01月20日

Paramount HP 10013電源推出之后,Advanced Energy 的 Paramount 系列產品將會有更多選擇,新產品可以提供更大的功率輸出,有助于加快工藝速度以及提高產量

  北京,中國 - Media OutReach - 二零二一年一月二十日 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司推出一款全新的 Paramount HP 10013 射頻電源。新產品推出之后,該公司旗艦產品 Paramount RF (射頻) 電源系列將會有更多型號可供選擇。

  Advanced Energy 的等離子工藝設備電源系統適用于半導體蝕刻、介電質蝕刻、沉積、濺鍍、離子植入等半導體和等離子薄膜工藝設備,Paramount HP 10013 沿用這種在市場一直居領導地位的等離子工藝電源技術,但性能則有進一步的提升,例如:Paramount HP 10013 可確保 Paramount 13.56MHz 平臺提供高達10kW的輸出功率,優點是能以較低的平均功率提供高能脈沖,以確保脈沖功率的準確性和可重復性。較高的功率可提升等離子密度和離子能量,以便支持更快更深的等離子蝕刻工藝步驟以及縮短沉積工藝時間,以滿足先進的高深寬比蝕刻工藝和新一代應用的要求。

  Advanced Energy 半導體及計算產品高級副總裁 Peter Gillespie 表示:「目前市場上的許多產品,包括消費產品,娛樂設備、工業制品、計算系統以及運輸工具,幾乎全部都要采用集成電路。按照這個發展趨勢看,高精度工藝設備電源系統的應用將會越來越廣泛。我們的產業必須滿足這些不斷增加的需求,克服各式各樣的挑戰。Advanced Energy 的Paramount產品系列率先采用脈沖射頻技術,是業內首系列可批量生產的全數字射頻電源系統。Advanced Energy 今次推出更高功率的產品,讓我們的客戶可以利用創新的技術開發更為復雜的三維度系統架構和全新的物料。」

  Paramount平臺的數字架構可支持精確的電源管理,而且無需更換硬件便可更快將新的功能集成一起。全數字控制功能可以追蹤等離子變化作出動態及實時的檢測,而且可以提供大功率的輸出,并確保性能的可重復性。內置的數字接口可確保平臺與其他射頻電源同步操作,也可無縫連接 Advanced Energy 一系列領先同業的 Navigator 和 Navigator II 數字匹配網絡。Paramount系列平臺是目前半導體業最受歡迎的等離子工藝設備電源解決方案。

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世強
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